As lentes F-Theta úsanse habitualmente xunto con espellos de dixitalización galvanómetros en sistemas de gravado, corte e marcado láser. Normalmente, a distorsión F-Theta da lente mantense inferior ao 1 % para que poida producir un punto preciso no campo plano do plano da imaxe.
Tolerancia de diámetro: +0/-0,13 mm
Tolerancia de espesor: ±0,25 mm
Tolerancia de distancia focal: ±2%
Variación do grosor do bordo (ETV): ≤3 arco mín.
Apertura clara: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Calidade da superficie: 40-20 SD
Revestimento AR: R<0,2% por superficie a 10,6 μ